冷凝水泵

冷凝水泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。冷凝泵是獲得清潔真空的極限壓力最低、抽氣速率最大的真空泵，廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產，以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。因其潔凈無污染、效率高、抽速大、高可靠性等突出優勢，被廣泛的應用于科學研究實驗室、乃至工業生產等眾多領域，如半導體材料制作、平板顯示器生產/測試設備、太陽能制造業、真空鍍膜